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| Markenbezeichnung: | ROYAL |
| Modellnummer: | RTSP |
| MOQ: | 1 Satz |
| Versorgungsfähigkeit: | 10 Sets pro Monat |
Tantal-PVD-Sputter-Beschichtungsmaschine, Tantalfolien, die durch Gleichstrommagneton-Sputter abgelegt werden, PVD-Tantalplattierung
Tantal wird aufgrund seiner guten Erosionsbeständigkeit in der Elektronikindustrie und als Schutzbeschichtung in vielen Branchen am häufigsten verwendet.
Tantalfilme mit Sputtern werden in der
1- die Mikroelektronikindustrie, da die Filme reaktiv gesprutzt werden können und so die Widerstandsfähigkeit und der Temperaturkoeffizient des Widerstands kontrolliert werden können;
2Medizinische Geräte wie Körperimplantate wegen ihrer hohen Biokompatibilität;
3- Beschichtungen von korrosionsbeständigen Teilen wie Thermowellen, Ventilkörpern und Befestigungsmaterialien;
Sputtered Tantal kann auch als eine wirksame Korrosionsbeständigkeit Barriere verwendet werden, wenn die Beschichtung kontinuierlich, defekt ist und an dem Substrat haften ist.
RTAS1000 Technische Vorteile
1. Plug-in Integriertes Konstruktionssystem für schnelle Installation
2. Siemens PLC,CPU; mit industrieller PC-Betriebs- und Steuerungshardware
3- Verfügbar für Fernüberwachung und Diagnose.
4. Flexibel, bereit zum Upgrade
5Mehrere Kathoden für eine schnelle Ablagerungsgeschwindigkeit
Weitere Vorteile der Maschine:
Robustes Design, stabile Qualität, schneller Zyklus, schnelle Zykluszeit, hohe Ablagerungsgeschwindigkeit
| Hauptkonfigurationen | |
| Modell | RTAS1000 |
| Technik | Gleichstrom-Magnetron-Sputtering + Kathodenbogenplattierung |
| Das Material der Kammer | Edelstahl (S304) |
| Größe der Kammer | Φ1000*1000mm (H) |
| KAMMERTYPE | D-Form, Zylinderkammer |
| Rotationsrack und JIG-System | Satellitenantrieb oder zentrales Antriebssystem |
| Stromversorgung | Gleichsputterstromversorgung: 2~4 Sätze Bias-Stromversorgung: 1 Satz Bogenstromversorgung: 11 Sätze |
| Das Depositionsmaterial | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu usw. |
| Einlagenquelle |
Ebenförmige Sputterkatoden + kreisförmige Bogenkathoden Anmerkung: Ein zylindrischer Gleichstromsputter ist verfügbar |
| Kontrollen | PLC ((Programmierbare Logiksteuerung) + Touchscreen (Manuelle + automatische + halbautomatische Bedienung) |
| PUMPSYSTEM | Drehschubpumpe: SV300B - 1 Satz (Leybold) |
| Wurzelpumpe: WAU1001 - 1 Satz (Leybold) | |
| Haltungspumpe: D60C - 1 Satz (Leybold) | |
| Magnetische Molekülpumpe mit Aufhängung: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| GAS-Massendurchflussregler | 4 Kanäle, in China hergestellt, Seven Star (CS-Serie, ) digitales Modell (Ar, N2, O2, C2H2) |
| VACUUM GAGE | Modell: ZDF-X-LE, hergestellt in China |
| Sicherheitssystem | Zahlreiche Sicherheitsschließungen zum Schutz von Bedienern und Ausrüstern |
| Heizung | Heizgeräte: 20 kW. Max. Temperatur: 450°C |
| Kühlung | Industrielle Kühlgeräte (Kaltwasser) |
| Power Max. | 100 kW (ca.) |
| Durchschnittlicher Stromverbrauch | 45 KW (ca.) |
| Bruttogewicht | T (ungefähr) |
| Fußabdruck | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Elektrotechnik | AC 380V/3-Phasen/50HZ / 5-Leitung |
mit einer Breite von nicht mehr als 50 mm mit einer Breite von mehr als 10 mm
Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology ist geehrt, Ihnen vollständige Beschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen.
Bitte klicken Sie hier, um die Broschüre herunterzuladen:Magnetron-Sputter-Deposition-System.pdf
Magnetron-Sputter-Absetzsystem für die Anwendung...
