TaN Ta2O5 Optical Films Magnetron Sputtering Deposition System, Ionenstrahl Hilfsdeposition

Magnetron-Sputtering wird häufig zur Ablagerung feuerfester Metalle wie Tantal, Titan, Wolfram verwendet,Niob, für das eine sehr hohe Ablagerungstemperatur erforderlich wäre, und Edelmetalle: Gold und Silber und die auch zur Ablagerung von niedrigeren Schmelzpunkten von Metallen wie Kupfer, Aluminium, Nickel, Chrom usw. verwendet wird.

Tantal wird am häufigsten in der elektronischenIndustrieals Schutzbeschichtung aufgrund seiner guten Erosionsbeständigkeit.

Anwendungen von Sputter-Tantal-Dünnfolie:
1- die Mikroelektronikindustrie, da die Filme reaktiv gesprutzt werden können und somit die Widerstandsfähigkeit und der Temperaturkoeffizient des Widerstands kontrolliert werden können;

2. Medizinische Instrumente wie Körperimplantate wegen ihrer hohen Biokompatibilität;
3. Beschichtungen von korrosionsbeständigen Teilen wie Thermowellen, Ventilkörpern und Befestigungsmaterialien;
4. Sputtered Tantal kann auch als eine wirksame Korrosionsbeständigkeit Barriere verwendet werden, wenn die Beschichtung kontinuierlich, defekt ist und an dem Substrat befestigt ist.

5Halbleiterindustrie, Mikroelektronik-Chips

Technische Vorteile

1. Es wird ein standardisierter Wagen eingesetzt, der das einfache und sichere Be- und Entladen der Substrathalter und Werkstücke in/aus der Ablagerungskammer ermöglicht.
2. Das System ist sicher verriegelt, um einen unsachgemäßen Betrieb oder unsichere Praktiken zu verhindern.
3. Die Substratheizungen sind in der Mitte der Kammer montiert, PID-gesteuert Thermoelement für hohe Genauigkeit, um die Kondensationsfilm Adhäsion zu verbessern
4. Starke Vakuumpumpenkonfigurationen mit magnetisch suspendierter molekularer Pumpe über ein mit der Kammer verbundenes Torventil; unterstützt durch die Wurzelpumpe von Leybold und eine zweistufige Rotationsschieferpumpe, mechanische Pumpe.
5. Bei diesem System wird eine hochenergetische ionisierte Plasmaquelle eingesetzt, um die Gleichmäßigkeit und Dichte zu gewährleisten.
   
   
   

Standardisiertes Tantal-Sputter-Deposition-System von Royal Technology: RTSP1000

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