Magnetron-Sputtering wird häufig zur Ablagerung feuerfester Metalle wie Tantal, Titan, Wolfram verwendet,Niob, für das eine sehr hohe Ablagerungstemperatur erforderlich wäre, und Edelmetalle: Gold und ...Ansicht mehr
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TaN Ta2O5 Optical Films Magnetron Sputtering Deposition System, Ionenstrahl Hilfsdeposition